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環(huán)揚(yáng)實(shí)驗(yàn)室裝修工程 無塵無菌室整體設(shè)計(jì)與施工
產(chǎn)品型號: 廣州環(huán)揚(yáng)實(shí)驗(yàn)室 品 牌: 環(huán)揚(yáng) -
≧20 m2
¥1100.00
所 在 地: 廣東廣州番禺區(qū) 更新日期: 2025-07-01 詳細(xì)信息| 詢價留言加工定制:是 品牌:環(huán)揚(yáng) 型號:廣州環(huán)揚(yáng)實(shí)驗(yàn)室 殺有害菌率:99 % 除塵率:99 % 廢氣凈化率:99 % 凈化級別:100000 適用面積:100000 ㎡ 殺霉菌率:99 % 實(shí)驗(yàn)室整體設(shè)計(jì)工程
作用控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此空間的設(shè)計(jì)施工過程即可稱為凈化工程。
分類
亂流式(TurbulentFlow)
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA) 進(jìn)入潔凈室,并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板
亂流式回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。優(yōu)點(diǎn):構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本低,潔凈室的擴(kuò)充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高潔凈室等級。
缺點(diǎn):亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活,欲達(dá)需求之潔凈度,往往須耗時相當(dāng)長一段時間。
層流式(Laminar)
等級名稱
等級限值
0.1μm
0.2μm
0.3μm
0.5μm
5μm
容積單位
容積單位
容積單位
容積單位
容積單位
國際單位
英制
單位
m
Ft
m
Ft
m
Ft
m
Ft
m
Ft
M1.0
350
9.91
75.7
2.14
30.9
0.875
10
0.283
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/
M1.5
1
1240
35.0
265.0
7.5
106
3
35.3
1
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M2.0
3500
99.1
757
21.4
309
8.75
100
2.83
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M2.5
10
12400
350.0
2650
75
1060
30
353
10
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M3.0
35000
991.0
7570
214
3090
87.5
1000
28.3
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M3.5
100
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/
26500
750
10600
300
3530
100
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M4.0
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75700
2140
30900
875
10000
283
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M4.5
1000
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35300
1000
247
7
M5.0
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100000
2830
618
17.5
M5.5
10000
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353000
10000
2470
70
M6.0
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1000000
28300
6180
175
M6.5
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100000
24700
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M7.0
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10000000
283000
61800
1750
展開層流式空氣氣流運(yùn)動成一均勻之直線型,空氣由覆蓋率100%之過濾器進(jìn)入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用,一般其潔凈室等級為Class1~100。其型式可分為二種:
(1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng),塵埃隨風(fēng)向排出室外,一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。
優(yōu)點(diǎn):構(gòu)造簡單,運(yùn)轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。
缺點(diǎn):建造費(fèi)用比亂流式高,室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。
(2)垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區(qū)域。
優(yōu)點(diǎn):管理容易,運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài),不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
亂流式缺點(diǎn):構(gòu)造費(fèi)用較高,彈性運(yùn)用空間困難,天花板之吊架相當(dāng)占空間,維修更換過濾器較麻煩。復(fù)合式(MixedType)
復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。
(1)潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上,可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離,以避免機(jī)器維修時影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。
潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn):A.彈性擴(kuò)充容易; B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。
(2)潔凈管道(Clean Tube):將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度,可節(jié)省能源,不需人工的自動化生產(chǎn)線為***適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。
(3)并裝局部潔凈室(Clean Spot):將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。
潔凈工作棚:為在亂流式之潔凈室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,采用獨(dú)立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較高級之潔凈空間,其等級為10~1000級,高度在2.5米左右,覆蓋面積約10m2以下,四支支柱并加裝活動輪,可為彈性運(yùn)用。
折疊編輯本段
空氣潔凈度經(jīng)濟(jì)和科技發(fā)達(dá)的國家和地區(qū)都有自己的空氣潔凈標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范標(biāo)準(zhǔn),都規(guī)定了有關(guān)的潔凈度等級,例如美國、日本、西歐、北歐、俄羅斯等。我國于1984年頒布《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》(GBJ73-84),1996年該規(guī)范進(jìn)行了較大的修改,1990年頒布《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》(JGJ71-90)以指導(dǎo)施工和驗(yàn)收的重要文件。該規(guī)范在重新修訂中。
等級
每立方米(升)空氣中≥0.5μm塵粒數(shù)
每立方米(升)空氣中≥5μm塵粒數(shù)
100
≤35*100 (3.5)
1000
≤35*1000(35)
≤250(0.25)
10000
≤35*10000(350)
≤2500(2.5)
100000
≤35*100000(500)
≤25000(25)
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